超熱蒸汽溫度雖高，但像空氣一樣，遇到消毒物品時不能凝成水，不能釋放潛熱，所以對滅菌不利。

防止超熱的辦法是使用外源蒸汽滅菌時，不要使夾層的溫度高于消毒室的溫度，兩者應相近，不要使壓力過高的蒸汽進入消毒室內(nèi)，吸水物品滅菌前不應過分干燥。

高壓滅菌器滅菌時不要用壓力高的蒸汽加熱到要求溫度，然后再降壓力。